 亞電科技是半導體晶圓制造行業濕法制程設備商, 專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術, 是國內首批推進半導體高端設備國產化的企業之一，目前公司在江蘇無錫和海外設立了研發基地。 亞電的核心產品包括8吋、12吋槽式/單片濕法刻蝕清洗設備，作為一家擁有自主知識產權的高新技術企業，所有核心技術均已申請發明專利。通過多年的技術研發和積累，亞電通過多樣化、個性化的解決方案致力于為客戶提供更有競爭力的產品和服務。 為便于第一時間響應客戶需求，公司在全國各重點城市設有售后團隊。 |
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企業文化
使命
企業愿景
價值觀
為客戶提供更有價值的產品和服務
成為領先的中國半導體濕法制程設備商
以產品為中心：專注、品質、成本、極致、快
客戶第一：快速響應，解決問題，客戶立場，贏得客戶信賴
團隊合作：實事求是，誠信敬業，自我批判
使命必達：艱苦奮斗，狼性的戰斗力，高效的執行力
| 設備型號： | DF-3000B |
| 設備類型： | Cassette Less/Type |
| 晶圓尺寸： | 300mm |
| 設備配置： | 8~12 個槽體, 2~6 個Robot（可定制） |
| 可搭載先進超聲波、兆聲波 | |
| 槽體過溫保護, 各Module配置漏液傳感器 | |
| 多級Wafer保護措施 | |
| 化學液CCSS or LCSS supply | |
| 自動換酸, 自動補液、配液( 可兼容多種濃度配比) | |
| 先進Marangoni干燥 | |
| 加熱控制, 濃度控制, 流量控制, 壓力控制 | |
| 化學液/水, 直排&回收 | |
| 可靠性能： | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
| MTBF≥650 hours MTTR≤3 hours | |
| 軟件控制： | PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能 |
| 設備型號： | FY-3000S |
| 晶圓尺寸： | 300mm |
| 腔 體： | 4~24 個腔體（可定制） |
| Vacuum or Grip方式 | |
| 4~5 個Dispenser，2~3種化學液 | |
| 排風分離：酸，堿，有機化學液分開排放 | |
| E F E M ： | 2 or 4 SMIF/FOUP, 1 Index robot, 1or 2WTR |
| 化學藥液： | 支持CCSS / LCSS Supply |
| 化學液泵循環 | |
| 加熱控制, 濃度控制, 流量控制, 壓力控制 | |
| 化學液/水, 直排&回收 | |
| 配 置： | 離子發生器、臭氧發生器、高清攝像頭（可選） |
| 可靠性能： | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
| MTBF≥500 hours MTTR≤3 hours | |
| 軟件控制： | PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能 |
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